Etude Du Probl me Inverse En Scatterom trie

La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomčnes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramčtres géométriques des structures étudiées constituent le problčme inverse ŕ résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothčses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramčtres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'ętre mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi ętre robuste vis-ŕ-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure.